杭州市生态环境局钱塘分局关于2022年11月18日拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见（拟批准项目）

序号

项目名称

建设地点

建设单位

环评机构

项目概况

公众参与情况

相关承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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杭钱塘工出【2022】13号杭州美迪凯微电子有限公司年产20亿颗（件、套）半导体器件建设项目

杭州市钱塘新区白杨街道（东至21号大街绿化，南至12号大街规划绿化，西至空地，北至杭州佑本动物疫苗有限公司、杭州美坚华包装材料有限公司）

杭州美迪凯微电子有限公司

杭州博盛环保科技有限公司

企业拟抓住机遇，投资10亿元，在杭州市钱塘新区，新增用地面积101.98亩，购置土地并进行厂房建造。地块东至21号大街，西至美町宝地块，南至12号大街，北至佑本动物疫苗地块。项目拟引进包括光刻机、干刻机、镀膜机等高精尖生产和检测等设备，实施年产20亿颗（件、套）半导体器项目。

严格落实环评中提出的各项污染防治措施（废水、废气、噪声、固废），严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的“三同时”制度，项目应按规定及时办理环保竣工验收手续，验收合格后方可正式投入使用。

有机清洗废气经二级活性炭吸附处理后15米高空排放；异丙醇回收装置废气经二级水喷淋处理后15米高空排放；晶片清洗和湿法蚀刻废气中酸性废气经1套碱液喷淋塔处理后通过15米高空排放；晶片清洗和湿法蚀刻废气中碱性废气经1套稀酸喷淋塔处理后通过15米高空排放；涂胶及光刻显影有机废气经一套活性炭吸附处理后15米高空排放；镀膜废气经设备自带的电子尾气处理设备电离燃烧处理，薄膜淀积工序产生的氨气经电子尾气处理设备电离燃烧+水喷淋处理，干法刻蚀废气经干法腐蚀设备尾气处理设备水喷淋处理后与经镀膜有机废气及薄膜生产废气一起经酸碱洗涤塔处理后25米高空排放；食堂油烟通过油烟净化器处理后引至屋顶高空排放。污水站废气加盖收集后通过一级碱喷淋处理后15米高空排放。含铬废水、含镍废水经车间各自的废水处理系统处理达标后与其他生产废水一起纳入厂区综合污水处理系统处理达标后纳管；纯水制备产生浓水部分回用于喷淋用水，剩余部分直接纳管；生活污水通过化粪池预处理后纳入市政污水管网。