杭州市生态环境局钱塘新区分局关于2020年12月11日拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见的公示（拟批准项目）

序号

项目名称

建设地点

建设单位

环评机构

项目概况

公众参与情况

相关承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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深紫外UVC芯片项目

浙江省杭州市钱塘新区智造谷

至芯半导体（杭州）有限公司

浙江省环境科技有限公司

公司拟投资11000万元，在杭州市钱塘新区智造谷租用厂房作为生产场所，购置金属有机化合物化学气相沉淀系统（MOCVD）、清洗槽、光刻机系统、干法刻蚀系统（ICP）、电子枪蒸镀系统、等离子气相沉积系统（PECVD）和测试仪器等生产设备通过酸洗、真空镀膜、光刻、刻蚀、去胶、切割、研磨、测试等工艺，进行UVC芯片约3亿颗生产能力的生产。项目达产后年产值约3亿元，年纳税约3000万元人民币。

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建设单位承诺，严格遵守相关环保法律法规，落实“三同时”制度，严格落实环境影响报告表提出的相关环保措施。

1、废气。外延、沉积废气经燃烧+一级酸喷淋+二级碱喷淋处理后，由35m排气筒（1#排气筒）高空排放；酸洗、湿法刻蚀废气经一级酸喷淋+二级碱喷淋处理后，由35m排气筒（1#排气筒）高空排放；光刻、去胶、剥离废气经一级酸液喷淋+干燥系统+碳纤维吸附处理后，由35m排气筒（2#排气筒）高空排放；干法刻蚀废气经水洗+一级酸喷淋+二级碱喷淋处理后，由35m排气筒（1#排气筒）高空排放。废气经处理后达到《大气污染物综合排放标准》和《恶臭污染物排放标准》等相关标准限值。2、废水。酸雾洗涤塔废水、含氟清洗废水经含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统处理达标后纳管排放；酸性清洗废水、湿法尾气处理废水、碱性废气洗涤塔废水、纯水站再生废水经酸碱废水处理系统处理达标后纳管排放；有机清洗废水、剥离废水、研磨废水、碱性废气洗涤塔废水经有机废水处理系统+酸碱废水处理系统处理达标后纳管排放；常温冷却水系统废水直接纳管排放；生活污水排入园区生活污水处理系统。废水预处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准（其中氨氮达到《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中相关标准，总氮执行《污水排入城镇下水道水质指标》（GB/T31962-2017）中相关规定），纳入临江污水处理厂处理达到一级A标准后外排。3、固废。危险废物交有资质单位统一处理；一般固废出售综合利用；废水处理污泥根据鉴定结果，按照规范处置；废活性炭（纯水制备）建议交有资质单位统一处理；生活垃圾环卫部门统一清运。固废的处理处置做到资源化、无害化。4、噪声：选型上应选择低噪声设备。在满足工艺设计的前提下，尽量选用满足国际标准的低噪声、低振动型号的设备，降低噪声源强；根据厂区实际情况和设备噪声源强，对厂区设备进行合理布局；对高噪声设备，安装过程中加装隔声垫，采用隔声、吸声、减震等措施；加强管理，定期对设备进行检修，防止不良工况下的故障噪声产生。